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科技日報北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學獲悉,由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(以下簡稱“西湖儀器”)成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術(shù),解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比,碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點、電子遷移率和熱導率,可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作,已成為新能源和半導體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關(guān)鍵材料。
“目前,碳化硅襯底材料成本居高不下,嚴重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應用?!蔽骱髮W工學院講席教授仇旻介紹,碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一,是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比,12英寸碳化硅襯底材料擴大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積,在同等生產(chǎn)條件下,可顯著提升芯片產(chǎn)量,同時降低單位芯片制造成本。
據(jù)國際權(quán)威研究機構(gòu)預測,到2027年,全球碳化硅功率器件市場規(guī)模將達67億美元,年復合增長率達33.5%。去年底,國內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前,西湖儀器已率先推出8英寸導電型碳化硅襯底激光剝離設備。為響應最新市場需求,西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù),將超快激光加工技術(shù)應用于碳化硅襯底加工行業(yè),完成了相關(guān)設備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。
“該技術(shù)實現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動化?!背饡F介紹,與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比,激光剝離過程無材料損耗,原料損耗大幅下降。
仇旻說,新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時間,適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?;慨a(chǎn),進一步促進行業(yè)降本增效。
眾彩網(wǎng)是干嘛的在哪下載安裝?眾彩網(wǎng)是干嘛的好用嗎?
作者: 陳怡友 2025-03-31 16:58:24眾彩網(wǎng)是干嘛的
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網(wǎng)友評論 更多
4175 陳凱正
使用眾彩網(wǎng)是干嘛的,無法保存瀏覽記錄,有點不方便。
2025-03-08 04:48:59 推薦
曹雅晴 :安全性很高,但注冊時的驗證流程有點繁瑣。
唐承穎 :我覺得這個內(nèi)容更新很及時,但注冊提示有點頻繁。
9340 黃昱寧
注冊流程雖然有點長,但每一步都很清晰,沒有讓人困惑的地方。
2025-03-09 00:23:38 推薦
張康宏 :眾彩網(wǎng)是干嘛的的安全性很高,但注冊時的隱私提示不夠明顯。
黃惠如 :功能限制太多,感覺有點被排除在外。
114 林政哲
內(nèi)容分類可以更清晰一些,方便用戶查找。
2025-03-21 17:20:34 推薦
徐文宏 :希望增加“家長監(jiān)控模式”,孩子偷偷玩氪金游戲差點刷爆我的卡!
寇慧萍 :界面簡潔直觀,操作起來非常順手。
92335 黃志玟
隱私政策寫得比較詳細,但有些條款不太容易理解,希望能簡化。
2025-03-12 15:09:26 推薦
林筱映 :我覺得這個內(nèi)容分類很清晰,但注冊提示有點過多。
張冠伶 :可以瀏覽的內(nèi)容有限,但整體體驗還算流暢。
1067 林鎮(zhèn)宇
加載速度很快,幾乎沒有卡頓,感覺很流暢。
2025-03-18 18:23:35 推薦
毛怡君 :使用眾彩網(wǎng)是干嘛的,感覺功能限制太多,有點被排除在外。
林升軍 :安全性很高,但注冊時的隱私提示不夠明顯,希望能加強。